真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達(dá)133×(10-2~10-4)Pa。爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱,也可用高頻感應(yīng)加熱。最高溫度可達(dá)3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊,以及陶瓷-金屬封接等。
1)完全消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳,可獲得無(wú)變質(zhì)層的清潔表面。這對(duì)于那些在刃磨時(shí)僅磨一面的刀具(如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口)切削性能的改善關(guān)系極大。
2)對(duì)環(huán)境無(wú)污染,不需進(jìn)行三廢處理。
3)爐溫測(cè)定、監(jiān)控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達(dá)到±1.5°c。但爐內(nèi)大批工件不同部位的溫差較大,若采用稀薄氣體強(qiáng)制循環(huán),仍可控制在±5°c溫差范圍內(nèi)。
4)機(jī)電一體化程度高。在溫度測(cè)控精度提高的基礎(chǔ)上,工件移動(dòng)、氣壓調(diào)節(jié)、功率調(diào)節(jié)等均可預(yù)先編程設(shè)定,按步驟實(shí)施淬火和回火。