硅提純,硅是一種人造材料。在硅的制造過(guò)程中必須從硅的化合物中分離出硅,并從分離后的硅中進(jìn)一步提純硅。
背景介紹
雖然硅在地殼中是第二多的元素,但它是由多種化合物組成,主要有不純的二氧化硅和硅酸鹽(Si+O+另外元素),在自然中沒(méi)有單純的硅元素。制造半導(dǎo)體器件所用的單晶硅是一種人造材料。
提純過(guò)程
低品質(zhì)的二氧化硅首先在電爐里與碳一起加熱,通過(guò)碳對(duì)不純的二氧化硅進(jìn)行還原(減少二氧化硅),得到不純的元素硅。
經(jīng)過(guò)氯化處理后形成一種氯化物,如四氯化硅(SiCl4)或三氯氫硅(SiHCl3),這兩種化合物在室溫下是液體。事實(shí)證明液化過(guò)程是行之有效的方法。鑒于固體提純的困難性,許多提純的標(biāo)準(zhǔn)工藝都是利用液體來(lái)提純的。
通過(guò)多重蒸餾和其他液體提純之后可得到超純度的SiCl4或SiHCl3。
最后,用化學(xué)方法對(duì)高純度的氯化物進(jìn)行還原,可以得到所期望的超純?cè)毓?。例如:SiCl4在氫氣氛中加熱可生成4HCl+Si,即[SiCl4+2H2→4HCl+Si]。
物理法硅提純,化硅爐,中頻化硅爐是榮泰感應(yīng)科技研發(fā)的中頻化硅爐提純方法,投資成本低,環(huán)保,不需要投入大量生產(chǎn)設(shè)備即可完成硅提純。